3D形状測定機 試験片

形状測定機,検査成績書

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形状解析レーザー顕微鏡

VK-X1000

VR-3000 ワンショット3D形状測定機 線粗さ測定 面粗さ測定 テストピース

キーエンス社製のワンショット3D形状測定機【VR-3000】を導入し、
従来の輪郭形状測定機や3次元測定機では不可能だった面での3次元測定を行うことができます。

面での広範囲3D測定

一瞬で試験片全体の凹凸状況をスキャンでき、試験片全体の形状を把握することができます。

VR-3000 ワンショット3D形状測定機 表面粗さ測定 面粗さ ISO25178

面で測定するから正確、撮り直し不要

VR-3000は一度の測定で面全体の3D情報を取得、最も高い場所、最も低い場所など、全体の形状がわかります。

一度測定すれば測定した面のデータを用いて様々な解析を自由に行う事ができます。

プロファイル測定

VR-3000 ワンショット3D形状測定機 プロファイル測定 試験片 テストピース

高さ・幅・角度・Rを計測することができます

線粗さ測定

VR-3000 ワンショット3D形状測定機 線粗さ うねり 試験片 テストピース

任意の2点間のうねり、線粗さの測定ができます

体積・表面積測定

VR-3000 ワンショット3D形状測定機 体積・表面積測定 試験片 テストピース

体積・面積・指定高さのXY径の測定ができます。

平面計測

VR-3000 ワンショット3D形状測定機 平面計測 試験片 テストピース

2点間の距離、直線間、円心間の距離等、様々な平面計測ができます。

平均段差測定

VR-3000 ワンショット3D形状測定機 平均段差測定 試験片 テストピース

面と面の段差や、面の平面度の測定も可能です。

面粗さ測定

VR-3000 ワンショット3D形状測定機 面粗さ測定 試験片 テストピース

ISO25178に則った面粗さの測定が可能です。多数ポイント数で測定する為、安定した測定結果が得られます。

立体形状のOK/NG判定

測定値に対して、交差設定に基づいたOK/NG判定が可能です。
立体形状の試験片でも交差範囲内であるかの検査が一瞬で行なえます。

VR-3000 ワンショット3D形状測定機 公差範囲検査 立体形状 テストピース 試験片

高精度3D測定

VR-3000は業界最大級の大判のCMOSに合わせて投影レンズと受光レンズに計3本の大口径テレセントリックレンズを採用
対角30mmにわたる範囲でも高精度なワンショット3D測定が可能です。

テレセントリックレンズによる高精度

高低差により大きさが変わらない

VR-3000 ワンショット3D形状測定機 テレセントリックレンズ 試験片 テストピース

高さが変わってもテレセントリックレンズであれば±5mmの高さまで正確に測定が可能です。

周辺部で歪みが少ない受光レンズ

VR-3000 ワンショット3D形状測定機 テレセントリックレンズ 試験片 テストピース

視野全体で歪みの少ない、細部までシャープでクリアな投影を実現します。

光を均一・均等に照射する投影レンズ

VR-3000 ワンショット3D形状測定機 テレセントリックレンズ 試験片 テストピース

測定範囲全体で試験片に均一な光を均一な間隔で照射します。それにより、試験片をどこに置いても、高い精度での測定が可能です。

安定した測定

従来の形状測定機では担当する作業者より大きな誤差がありましたが、VR-3000は試験片全体を測定する為、作業者要因による誤差が少なく、安定した測定を行う事ができます。

試験片を傷つけない

接触式測定器と異なり直接試験片に触れない為、試験片が傷つきません。

接触式の場合、触針が試験片の表面をなぞり測定しますがVR-3000はレーザを用いた非接触測定の為、試験片に傷をつけず測定する事ができます。
VR-3000では光切断法を採用しています。 試験片にスリット光を当ててできる段差を三角測量で測定、投光レンズから照射された縞状の光は対象物の表面で拡散反射します。
反射した光を別の角度(受光レンズ)から観察すると、縞状であった光は試験片の凹凸形状に応じて折れ曲がって見えます。
これをCMOSセンサに結像させ、演算(三角測量法)を行うことで、各点の高さ・位置を測定します。

VR-3000 ワンショット3D形状測定機 非接触測定 テストピース 試験片

国家標準の精度保証

国家標準につながる計量のトレーサビリティ体系に基づき測定精度を保証

計量のトレーサビリティとは

計測の値が正確であることを証明する取り組みを意味します。
この証明とは測定機器が、JISで定めた基準器で校正されていることにあります。
「校正されている」とは、国家が正しい基準器とつながりがあるという意味です。
つまり、測定機器が「実用標準」→「二次標準」→「一次標準(国家計量標準)」という流れで、校正の履歴が確認済みである必要があります。
校正の履歴が確認される事で寸法が正しいと証明されます。

VR-3000 ワンショット3D形状測定機 計量のトレーサビリティ テストピース試験片

スペック

基本性能

型式 コントローラ VR-3000
ヘッド VR-3050
15型モニタ上倍率 12× 25× 38× 50×
観察測定範囲 横(H):mm 24.0 12.0 8.0 6.0
縦(V):mm 18.0 9.0 6.0 4.5
ズーム 1~4倍
測定可能高さ※1 10mm(±5mm)
表示分解能※2 0.5μm
繰り返し精度(σ)※3 高さ測定 0.5μm
幅測定 1μm
測定精度※3 高さ測定 ±3μm
幅測定 ±5μm
ステージ XYストローク 184 x 88mm(電動)
Zストローク 88mm(手動)
作動距離 75mm
撮像素子 1型400万画素モノクロCMOS
投光レンズ ダブルテレセントリックレンズ x 2
受光レンズ ダブルテレセントリックレンズ
照明系 観察用光源 LEDリング照明(白)
測定用光源 白色LED
画像サイズ 1024×768pix, 2048×1536pix

※1 焦点位置を中心に 低倍側±5mm、高倍側±0.5mmの範囲
※2 高さ測定の分解能
※3 規定の標準ゲージを使用し、規定の測定モードにて測定した場合の値(周囲温度23±1℃)

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