レーザ顕微鏡 試験片

レーザ顕微鏡,線粗さ,面粗さ測定,検査成績書

—スタンダードテストピースでは、小ロットから大量ロットまで
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  • 取引実績 1800
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形状解析レーザー顕微鏡

VK-X1000

vk-x1000 レーザー顕微鏡 線粗さ測定 面粗さ測定 テストピース

当社スタンダードテストピースでは他社にさきがけ
キーエンス社製の高精度形状解析レーザ顕微鏡【VK-X1000】を導入し、
3次元で様々な形状や微細な面形状の検査・測定まで対応、先端技術で試験片の品質を保証しております。

高精度且つ広範囲に形状を3D化

高精度を求められる試験片(テストピース)の表面も3次元で立体的且つ、広範囲の測定、解析が可能です。
透明なフィルムやブラスト処理などの表面処理を行ったものなど様々な試験片(テストピース)を正確に3次元測定できます。

透明体 フィルム 線粗さ 面粗さ 測定

JIS,ISO規格に準拠した粗さの測定

JISに準拠した線粗さはもちろん、ISOで規定された面の粗さも測定することができます。
また接触式測定器の針では触れられな い微小な形状変化も読み取ることで、超精密な測定が行えます。

線粗さ 複数戦粗さ測定 JIS B 0601-1994 JIS B 0601-2001 テストピース 試験片

線粗さ・複数線粗さ測定

新旧のJIS(JIS B 0601-1994とJIS B 0601-2001)に対応する粗さ測定が可能です。スポット経0.4μmのレーザ光が超微細な形状も正確に読み取ります。

表面粗さ測定 面粗さ ISO25178 テストピース 試験片

表面粗さ測定

測定面全体のデータを活かして、ISO(ISO25178)に則った粗さ測定が可能です。線での測定に比べ、より精度の高い正確な粗さが算出できます。

ナノレベルでの測定

従来の機器では測定できなかったナノレベルでの微細な形状を測定することができます。
従来の顕微鏡では見えづらいナノレベルの傷やうねりを、C-レーザー微分干渉により可視化します。そのまま3Dで測定ができるので確実な解析が可能となります。

vk-x1000 レーザー顕微鏡 測定 うねり テストピース 試験片 ナノレベル うねり キズ 傷 測定 テストピース 試験片

試験片を選ばない

様々な試験片の材質、形状を測定出来る事ができます。

正確な測定が難しい透明体の素材でも正確に測定が可能
フィルムの面粗さ、フィッシュアイの測定も正確に行う事ができます。

vk-x1000 腹膜測定 試験片 テストピース

腹膜測定

透明体は最表面とウラ面の二箇所から反射光が返ってくるという特性を活かし、その厚みを測ることができます。
最表面と裏面を丸ごと3Dにして、その断面形状から膜圧を測定します。

vk-x1000 最表面測定 フィルム 試験片 テストピース

最表面測定

薄い透明体は最表面と裏面の反射光が混ざり合い、測定が困難になるという問題がありましたが、VK-Xでは”最表面測定モード”を搭載し、最表面だけを忠実に測ることができます。

vk-x1000 自動測定 試験片 テストピース

自動測定

反射光量のデータを活かし、最高点や端部などの特異点を自動で抽出、その高さや幅などを自動で測定します。

急峻な角度をもつ素材、複雑な形状の素材でも正確に測定が可能
AI-SCAN(人工知能)によりシャルピー試験片のノッチ角度やノッチ深さも正確に測定する事が可能です。

ノッチ角度 ノッチ深さ シャルピー試験 Z2242 SS400試験片 テストピース

AI-SCAN

AAGⅡ

試験片に応じて受光量を最適化することで複雑な微細形状や材質の異なる試験片も正確に測定できます。

vk-x1000 レーザ顕微鏡 AAGⅡ 複雑な微細形状測定 試験片 テストピース

ダブルスキャン

一度のスキャンで測定が難しい場合は自動で受光素子の感度を変えて2回スキャンすることで、正確に測定できます。

vk-x1000 レーザ顕微鏡 ダブルスキャン 複雑な微細形状測定 試験片 テストピース

試験片を傷つけない

接触式測定器と異なり直接試験片に触れない為、試験片が傷つきません。

接触式の場合、触針が試験片の表面をなぞり測定しますがvk-x1000はレーザを用いた非接触測定の為、試験片に傷をつけず測定する事ができます。
具体的には試験片にレーザーを照射し、反射した光を検知して粗さを測定します。

vk-x1000 レーザ顕微鏡 試験片傷つけない 非接触測定 テストピース 試験片

国家標準の精度保証

国家標準につながる計量のトレーサビリティ体系に基づき測定精度を保証

計量のトレーサビリティとは

計測の値が正確であることを証明する取り組みを意味します。
この証明とは測定機器が、JISで定めた基準器で校正されていることにあります。
「校正されている」とは、国家が正しい基準器とつながりがあるという意味です。
つまり、測定機器が「実用標準」→「二次標準」→「一次標準(国家計量標準)」という流れで、校正の履歴が確認済みである必要があります。
校正の履歴が確認される事で寸法が正しいと証明されます。

レーザーコンフォーカル

レーザーコンフォーカルによる測定は、国家標準につながるトレーサビリティ体系に基づき、正確性、繰り返し性の二点で精度を保証しています。

vk-x1000 レーザーコンフォーカル 国家標準 トレーサビリティ体系 試験片 テストピース

Focus Variation

Focus Variationによる計測結果は国家標準につながるトレーサビリティ体系に基づいています。

vk-x1000 Focus Variation 国家標準 トレーサビリティ体系 試験片 テストピース

スペック

基本性能

型式 コントローラー部/ヘッド部 VK-X1000/1050
総合倍率※1 ~28800倍
視野(最小視野範囲) 11µm~7398µm
フレームレート(レーサー測定スピード)※2 4~125Hz,7900Hz
測定原理 光学系 ピンホール共焦点光学系,フォーカスバリエーション
受光素子 16bitセンシングフォトマルチプライヤ/超高精細カラーCMOS
スキャン方式(通常測定時及び画像連結時) 自動上下限設定機能 高速光量最適化機能(AAGⅡ) 反射光量不足補完機能(ダブルスキャン)
高さ測定 表示分解能 5nm
リニアスケール 5nm
高さフレームメモリ 21bit
繰り返し精度 σ レーザーコンフォーカル ×10 100nm,×20 40nm,×50 30nm
フォーカスバリエーション ×5 500nm, ×10 100nm,×20 50nm,×50 30nm
高さデータ取得範囲 70万ステップ
正確さ※3 0.2+L/100 µm以下(L=測定長µm)
幅測定 表示分解能 10 nm
繰り返し精度 3σ レーザーコンフォーカル ×10 400nm、×20 100nm、×50 50nm
フォーカスバリエーション ×5 400 nm、×10 400 nm、×20 120 nm、×50 65 nm
正確さ 測定値の±2%以内
XYステージ構成 手動稼働範囲 70 mm× 70 mm
観察 観察画像 超高精細カラーCMOS画像
16bitレーザカラー共焦点画像
共焦点+NDフィルタ光学系
C-レーザ微分干渉画像
照明 リング照明 同軸落射照明
測定用レーザー光源 波長 赤色半導体レーザ 661 nm
最大出力 1 mW
クラス クラス2(JIS C6802)

※1:23型モニタ-画面上での倍率(フル画面表示のとき)。 
※2:測定モード/測定品質/レンズ倍率組み合わせの中で最速の場合。ラインスキャンは、測定ピッチが0.1 µm以内時。
※3:標準試料(基準スケール)を20倍以上のレンズで測定した時。

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